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                    ASML崛起之路 愛德·鮑爾

                    時間:2021-02-20 08:43來源:海獵人

                      愛德·鮑爾弗里茨·克洛斯特曼招募了固執且執著的設計師愛德·鮑爾(AdBouwer),來幫助他制造他的重復曝光光刻機。這個裝置將繼續為Elcoma帶來大量營業收入。弗里茨·克洛斯特曼渴求完美,他需要花時間去實現它。他必須做到理論和實踐相結合:使位于埃因霍溫的Natlab的科學家和位于奈梅亨的芯片廠的技術人員協同工作。他在一個完美的環境中工作,這使他能夠制造他的光刻機。為了制造6鏡頭光刻機,克洛斯特曼在1966年秋天聯系了飛利浦精密工程部門(PEG)的愛德·鮑爾。通常情況下,Natlab的研究人員會將他們的要求告訴畫圖室,畫圖室隨后指導PEG的工程師們畫圖。但克洛斯特曼是個控制狂,是個更有工程師風格的科學家。他在機械制造方面有實踐經驗,他知道他的機器需要極高的精度,并希望確保一切都按照應有的標準進行。因此,他更喜歡直接與那些可以把自己的想法變成現實的人交談。

                      當鮑爾展示他的第一張圖紙時,他發現克洛斯特曼并不是普通的研究人員。鮑爾習慣匆忙地說出他的想法:這就是你需要的,這就是會起作用的,所以這就是我們要做的。但克洛斯特曼不太適應這種方式。鮑爾得證明他的想法都是合理的,包括每個細節?寺逅固芈笠詳祵W上的完美計算作為支撐,這讓鮑爾幾乎說不出話來?寺逅固芈鼘λ岢龅拿總方法進行數小時的質詢,而鮑爾則每時每刻都在忍受煎熬。

                      就像克洛斯特曼一樣,鮑爾也慢慢地走上正軌。在20世紀50年代,他就讀于飛利浦公司所創辦的學校,他才智杰出,被允許專攻儀器制造。在Natlab,他逐漸成為公司最頂尖的儀器制造人才,并在15年后成為PEG的管理者。鮑爾持續為ASML獲得專利,在20世紀90年代后期,他甚至繪制出了第一臺EUV光刻機的原型。鮑爾是個溫文爾雅的人,但他在制造方面的豐富經驗讓他非常自信,任何人都很難改變他的想法。在Natlab工作多年的其他科學家和他爭論從來沒有贏過。在與克洛斯特曼的第一次談話中,他就固執地堅持自己的設計和想法。但無論鮑爾多么好,克洛斯特曼都覺得這位設計師的方法有些馬虎。儀器制造者通常會手繪一些草圖和原理圖,再簡要解釋,然后讓他的工程師團隊著手工作。

                      為了確保所有文件都歸檔,Natlab在工作完成后會把所有的設計圖紙都收集起來?寺逅固芈鼘Υ瞬⒉粷M意。他是一個固執的研究人員,拒絕被一張手繪的草圖說服。在他的眼中似乎是:模糊的爭論不如通過實踐來驗證。實干的鮑爾把他帶到了現實中。“當然,你可以在圖紙上找出1微米的誤差,但這在車間里不會出現。”他向克洛斯特曼開火。這兩人每兩周舉行一次會議,并經;ㄕ粋下午的時間爭論,然后才達成一致。不過他們總是能設法達成一致:有時這個人贏,有時另一個人獲勝。這對鮑爾來說是一個新的體驗,而且隨著時間的推移,他越來越喜歡與克洛斯特曼進行激烈的討論。

                      Natlab可能是20世紀60年代最不受約束的研究堡壘,但它也是一個沉浸在等級和階級中的研究所,克洛斯特曼就是一個很好的例子。在一個荷蘭人正在擺脫固有社會界限的時代,他希望他的助手們稱他為“先生”,但助手們認為他過于死板。所受教育的不同使得同事之間存在文化認知差異。Natlab的科學家們一般在位于代爾夫特、阿姆斯特丹、烏得勒支和格羅寧根的著名大學獲得學位,這些學校是飛利浦的主要人才來源?寺逅固芈铜偪丝赡軙苯咏袑Ψ降拿,但瓊克從不直接和克洛斯特曼的助手講話。當他在大廳里遇到普通員工的時候,他甚至都不打招呼,他給下級員工的信息總是通過克洛斯特曼傳遞?寺逅固芈王U爾卻互相正式稱呼對方,盡管他們在Natlab的非正式層級大致一樣?寺逅固芈莻很得體的人,他很好地利用了這一點。光刻機的制造不是一個正式的項目,但克洛斯特曼利用他的魅力成功地說服了其他團隊的研究人員來幫助他制造光刻機。除了本職工作外,一些研究人員和助理花幾天甚至幾周的時間無償為他工作。但沒有人逃過克洛斯特曼的批評,他不太容易對付。在討論中,他非常固執、不愛讓步。

                     

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                    飛利浦的重復曝光光刻機。圖中可見3個鏡頭的底部,其下方是用來放晶圓的定位臺。鏡頭的左側是反射相位光柵,用于讀取x和y方向的位移。在每個反射相位光柵下方都有一個光學讀取頭。

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