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                    光刻巨人:ASML崛起之路-天生的工程師

                    時間:2021-02-22 07:18來源:海獵人

                      天生的工程師

                      Natlab的工程師赫爾曼·范?耍℉ermanvanHeek)和吉斯·布休斯(GijsBouwhuis)在同一辦公室工作,他們對芯片生產過程中產生的浪費感到震驚。如果有人能欣賞到光刻中的工程技術,那么這個人就是哈斯霍西姆·梅耶。就像弗里茨·克洛斯特曼和愛德·鮑爾一樣,梅耶知道親手打造一些東西意味著什么。當卡西米爾在1964年任命他為主任時,多面手梅耶好奇地打量著他周圍的機械和光學領域中的那些奇跡?諝廨S承、靜壓軸承和亨德里克·德朗的光學測量系統:這是一座充滿精密技術的金礦。梅耶很欣賞弗里茨·克洛斯特曼和愛德·鮑爾利用Natlab的發明制造出用于生產光掩模的機器。在20世紀60年代末,梅耶利用職權重組了各科研團隊。他把光刻技術從光化學小組轉移到光學小組。他安排克洛斯特曼領導開發光導攝像管的小組。1969年11月1日,赫爾曼·范?撕图·布休斯接手了克洛斯特曼原來的工作。布休斯在德朗的光學小組已工作多年,但對范?藖碚f,光學是一個全新的領域。他們將一起為實驗室的掩模生產團隊提供科學支持。在1969年的最后幾個月里,兩人沒有碰到新的大挑戰,其主要工作是關注掩模部門日常提出的問題。在那段時間里,團隊里的10個女人和3個男人忙著為電路板、陰極射線管和芯片制作掩模,因為對當時掩模的需求很旺盛。

                      赫爾曼·范?藖碜砸粋在紡織業賺了些錢的荷蘭家庭。年輕的范?嗽诎⒛匪固氐らL大,后來搬到萊頓,他的父親在那里找到了一份社會學教授的工作。范?说陌l明家基因來自他的母親。他母親的家人里有3位工程師,其中包括著名的教授費利克斯·萬寧·梅恩茲(FelixVeningMeinesz)——用于測量重力的光學儀器的發明者。范?嗽谌R頓的大學學習物理,最后在卡末林·昂內斯實驗室從事低溫研究工作。他的8位前輩中有7位在飛利浦找到了工作,所以他在實驗室工作結束后自然而然地給飛利浦在艾恩德霍芬的人力資源部打了電話。飛利浦人力資源部不久后便安排他與Natlab的各位總監面談。1964年,他開始在Natlab工作?寺逅固芈且幻袷丶o律、一絲不茍的研究人員,留著披頭士發型的范?嗽谏钪袆t隨性快活得多。在飛利浦的頭5年里,范?税l現自己對科學研究沒有太大的興趣,他不僅對Natlab的一些研究人員搶占地盤的熱潮不感興趣,反而心生反感。與克洛斯特曼不同,范?藢蛹壊簧蹩粗,他也不關心地位。這可能是因為,作為一個富二代,他早已習慣了富人的圈子。這位剛畢業的研究人員在飛利浦任職初期就參加了一項針對年輕學者的活動,當他正在自助餐會上忙著往盤子里放食物時,首席執行官弗里茨·飛利浦先生認出了他。“范?,我聽說你家的工廠已經破產了。”這位飛利浦的繼承人在排隊時喊道。整個房間的人都聽到了他的聲音,但范?瞬]有失去冷靜。“工廠沒有破產,”他回嗆這位飛利浦的繼承人,“我的家人自己決定要停產,但我們的紡織公司已經持續了8代人,讓我們看看你的公司能活多久。”

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